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LC493F ML1640mm海德漢光柵尺 557642-24

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更新時間:2018-08-16 13:36:42瀏覽次數(shù):455

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產(chǎn)品簡介

LC493F ML1640mm海德漢光柵尺 557642-24
海德漢的光柵尺的分辨率高達1納米,光柵尺的精度高達±0.1微米

詳細介紹

LC493F ML1640mm海德漢光柵尺 557642-24 

德國海德漢HEIDENHAIN位移傳感器的信號處理:
辨向原理
在實際應(yīng)用中,位移具有兩個方向,即選定一個方向后,位移有正負之分,因此用一個 光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,得到兩個相位差π/2的電信號u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個方波信號u01’和u02’。光柵正向移動時u01超前u02 90度,反向移動時u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運動方向。
細分技術(shù)
隨著對測量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當?shù)拇胧δ獱枟l紋進行細分。所謂細分就是在莫爾條紋信號變化一個周期內(nèi),發(fā)出若干個脈沖,以減少脈沖當量。如一個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖,則可使測量精度提高n備,而每個脈沖相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細分方法:其一:直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90o的電信號,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號,實現(xiàn)四倍頻細分。其二:電路細分。

德國海德漢HEIDENHAIN位移傳感器的特性參數(shù):
標稱阻值:電位器上面所標示的阻值。
重復(fù)精度:此參數(shù)越小越好。
分辨率:位移傳感器所能反饋的zui小位移數(shù)值.此參數(shù)越小越好.導(dǎo)電塑料位移傳感器分辨率為無窮小。
允許誤差:標稱阻值與實際阻值的差值跟標稱阻值之比的百分數(shù)稱阻值偏差,它表示電位器的精度。允許誤差一般只要在±20%以內(nèi)就符合要求,因為一般位移傳感器是以分壓的方式來使用,具體電阻的大小對傳感器的數(shù)據(jù)采集沒有影響。
線性精度:直線性誤差.此參數(shù)越小越好。
壽命:導(dǎo)電塑料位移傳感器都在200萬次以上。

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