放電過程中雖低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時(shí)，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨?duì)畹母吣茈x子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場(chǎng)的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。它采用了*的吸附-分解-碳化，離心式抽風(fēng)安裝工藝技術(shù)設(shè)計(jì),采用標(biāo)準(zhǔn)模塊設(shè)計(jì)等優(yōu)點(diǎn),是一種干法處理有機(jī)廢氣的凈化設(shè)備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術(shù),無需再生處理原料,無需專人負(fù)責(zé),不產(chǎn)生二次污染,更換及維護(hù)保養(yǎng)方便。一般氣體放電，將會(huì)產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機(jī)制使一個(gè)或者多個(gè)電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱為電離氣體，如果外電場(chǎng)產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。而這種凈化設(shè)備的技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理一種新的原理。