食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
| 型號(hào) | PR500 | PR510 | |
| 模式 | DP模式，桶型 | ||
| 控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 同調(diào)方式 | 自動(dòng)協(xié)調(diào) | ||
| 反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O2／CF4） | ||
| 控制 | 手動(dòng) | 觸摸屏自動(dòng)控制 | |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
| 外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
| 重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
| 電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
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