從學(xué)術(shù)角度講，高純水又名超純水，是指化學(xué)純度*的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、

冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用zui普遍的還是電子工業(yè)。例

如電力系統(tǒng)所用的高純水，要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級(jí)。在純水的制作中，水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所

規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破

壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁

多，至今尚無(wú)一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過(guò)近年來(lái)電子級(jí)水

標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用

都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

　　高純水的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國(guó)高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)

水分為五個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí)，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。

　　高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：1、微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求；2、制水

工藝的水平；3、檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。

　　在高純水的生產(chǎn)過(guò)程中，水中的陰、陽(yáng)離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術(shù)等去除；

水中的顆粒一般可用超過(guò)濾、膜過(guò)濾等技術(shù)去除；水中的細(xì)菌，目前國(guó)內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射

或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中，水

的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導(dǎo)致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的使用壽

命，因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。

　　天然水中溶解的氣體主要有O 2 、CO 2 、SO 2 和少量的CH 4 、氡氣、氯等，在高純水的生產(chǎn)過(guò)

程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過(guò)程中，加入了一些化學(xué)殺

菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。