MXG1200-PECVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

技 術(shù) 參 數(shù)

設(shè)備簡(jiǎn)介

 MXG1200-PECVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是利用輝光放電產(chǎn)生的等離子體中的電子動(dòng)能去激活氣相的化學(xué)反應(yīng)。該系統(tǒng)由MXG1200系列真空管式爐、石英反應(yīng)腔室、射頻電源、多通道混氣系統(tǒng)、真空機(jī)組、反應(yīng)控制系統(tǒng)組成。

設(shè)備特點(diǎn)

1、利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相；

2、提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量；

3、可通過(guò)調(diào)整射頻電源頻率來(lái)控制沉積速率；

4、能廣泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長(zhǎng)。

開(kāi)啟式真空管式爐

石英管

Φ60/80/100mm L1400mm

加熱區(qū)尺寸

440mm

恒溫區(qū)尺寸

200mm

控溫模式

采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序。

升溫速率

≤20℃min

極限溫度

≤1200℃

長(zhǎng)時(shí)間工作溫度

≤1150℃

表面溫度

< 60℃（1000℃保溫）

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲（0Cr27Al7Mo2）

密封及連接方式

CF  KF  真空波紋管

質(zhì)量混氣系統(tǒng)

流量規(guī)格

50sccm\100sccm\200sccm\300sccm\500sccm(可自選量程)

調(diào)節(jié)閥類(lèi)型

電磁調(diào)節(jié)閥

控制精度

±0.2%F.S

工作壓差范圍

（50～300）KPa

混氣罐尺寸

Φ80×120mm

電功率

AC220V/50HZ/20W

真空系統(tǒng)參數(shù)

低真空配置

4L/S 機(jī)械泵  電阻真空計(jì) 真空波紋管 擋板閥

極限真空度：≤0.1Pa

高真空配置

4L/S 機(jī)械泵  300L/S分子泵 復(fù)合真空計(jì) 真空波紋管 擋板閥 

極限真空度：≤1.3×10-4Pa

射頻電源系統(tǒng)

輸出功率

5-300W   5-500W  (可選)

控制模式

手動(dòng)/PLC/PC

工作頻率

13.56MHZ標(biāo)準(zhǔn)正弦波

供電電壓

單相交流（190V～240V）

冷卻方式

風(fēng)冷

設(shè)備外形尺寸

1800mm（長(zhǎng)）*600mm（寬）*1390mm（高）

設(shè)備重量

215KG

服務(wù)保障

質(zhì)量：產(chǎn)品的制造和檢測(cè)嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，并有質(zhì)量記錄可查；每臺(tái)設(shè)備都有*的制造編號(hào)，并建立用戶檔案。

交貨期：按合同約定執(zhí)行；如客戶有特殊原因需提前交貨的，我公司可特別組織生產(chǎn)，力爭(zhēng)滿足用戶需求。

售   后

1、物流送貨****；

2、高效率服務(wù)：當(dāng)設(shè)備不能正常使用時(shí)，請(qǐng)及時(shí)，我們會(huì)在10分鐘內(nèi)響應(yīng)；2小時(shí)內(nèi)提供應(yīng)急解決方案；24小時(shí)內(nèi)安排專業(yè)人員*；

3、免費(fèi)更換維修服務(wù)：本產(chǎn)品提供一年免費(fèi)保修服務(wù)（易損件除外）；

4、定期回訪服務(wù)：提供定期回訪或上門(mén)回訪服務(wù)；

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6、保證配件供應(yīng)：保證設(shè)備配件及配套產(chǎn)品的供應(yīng)；