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西安莫吉娜儀器制造有限公司


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RTP快速升降溫退火爐

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質經(jīng)銷商

所  在  地西安市

聯(lián)系方式：陳桂霞查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-10-03 16:18:04瀏覽次數(shù)：117次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：320條

所在地區(qū)：陜西西安市

聯(lián)系人：陳桂霞 （銷售）

產(chǎn)品簡介

RTP快速升降溫退火爐的詳細介紹RTP快速升降溫退火爐MXG1200-150-SL-RTP開啟式RTP快速升降溫退火爐，是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設備

詳細介紹

RTP快速升降溫退火爐 的詳細介紹
RTP快速升降溫退火爐 MXG1200-150-SL-RTP
開啟式RTP快速升降溫退火爐，是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設備。本產(chǎn)品采用制造工藝，造型新穎結構合理，爐體上下兩半設計，可自由打開閉合，安全可靠，爐管外徑150mm，爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高溫保護涂層，既能降低熱量損耗，還能提高爐內溫度穩(wěn)定性。試驗樣品放置于密封的石英管內，內部潔凈度高，可降低間接污染的可能。已廣泛用于半導體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領域，該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。本產(chǎn)品采用紅外加熱，升溫速度快達30℃/S，爐體下部配有軌道，可左右移動至底部風扇處，以達到快速冷卻的目的。
技術參數(shù)
項目 主要技術指標 數(shù)據(jù)
規(guī)格型號 MXG1200-150-SL-RTP
溫度控制 溫度點 1200℃
額定溫度 1100℃
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 200-1050℃
溫度測量精度 ±0.2℃
溫度控制重復性 ±1℃
溫度控制精確度 ±1℃
溫度均勻性 ±2℃
溫度狀態(tài)工藝時間 7-32 S（200-1050℃）
升溫速率 30℃/S（可按需定制）
降溫速率 1-200℃（將試樣移出加熱區(qū)域或通氮氣可加快降溫）
溫度控制模式 智能模糊PID全閉環(huán)控制
觸摸屏 尺寸 7寸LCD 工控
物理指標 功率 27 Kw
額定電壓 AC380V，50/60Hz
測溫元件型號 K型熱電偶
石英管規(guī)格 Φ150*1500
真空度 選配分子泵真空度可達6*10-3Pa
抽氣端口尺寸 KF40或Φ6mm
進氣端口尺寸 Φ6mm
冷卻方式 自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
外形尺寸 深600*寬1520*高700
設備重量 100Kg



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